氦氣回收設(shè)備

　　原料氦氣進入氦氣過濾器，過濾原料氣中的固體顆粒。過濾后的氦氣進入緩沖罐，出緩沖罐后再進入預(yù)冷機冷卻，然后進入到脫水、脫碳吸附筒去除原料氣中水和二氧化碳，使原料氣得到進一步凈化。

　　凈化后的原料氣再到低溫精餾系統(tǒng)中冷卻到一定溫度，再進行精餾、分離。從低溫精餾系統(tǒng)出來的富氦氣進入低溫吸附筒，去除其中的氮氣、氬氣從而得到產(chǎn)品氦氣。

1.1. 系統(tǒng)優(yōu)點描述

　　? 工藝成熟，自動化控制程度高。

　　? 系統(tǒng)抗干擾能力強，運行穩(wěn)定。

　　? 產(chǎn)品氦氣純度高，純度≥99.999%。

　　? 系統(tǒng)能承受原料氣中雜質(zhì)波動，在一定范圍內(nèi)波動，系統(tǒng)可以連續(xù)穩(wěn)定運行。